抗静电材料在半导体领域的应用

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静电无处不在,只要物体之间有摩擦就会产生静电。

静电对半导体制造的影响可大可小。器件会有不同程度的静电损伤,尤其是集成度高、尺寸小的芯片和晶圆,对静电很敏感,容易受到相关设备或工具影响损伤元件芯片。晶片表面静电环绕,易沾染灰尘和污染物,会降低元件成品率。

半导体制造易受到误操作和污染的影响,对其保护和洁净度的控制始于晶圆厂并延伸至实际应用中,抗静电塑料在其中发挥重要作用。

 

因此,在生产工序中,抗静电塑料丝的疏导刷和清洁刷是必备的重要工具。

而现在大热的半导体制造就急切需要抗静电塑料丝的配合,为其保驾护航!

 

抗静电塑料的作用,顾名思义就是在半导体制程中防止静电产生,有助于防止颗粒污染并提高晶圆搬运、存储和转移的可靠性。抗静电塑料广泛应用于制作晶圆盒/载具、光罩盒、晶圆梳、夹具、托盘、 真空吸笔以及洁净室厂房的建造等。

 

塑料丝本身就具有良好的隔缘性和较高电阻率,但是由于表面的摩擦或其他原因而产生静电,为降低塑料丝的电阻,通常在表面或内部添加导电物质的方法,降低塑料丝表面电阻,赋予其抗静电性能,成为大有用途的抗静电塑料丝。

 

优质的抗静电塑料丝通过一定的工艺,使刷丝表面形成一层抗静电剂层,加快静电荷的“泄露”,丝径均匀爽滑的毛丝植入孔中,制成的疏导刷和清洁刷既可以疏通静电流还能清洁器件表面的尘埃和污染物,工作处理既安全又高效。

 

目前有许多种方法被用来降低塑料的电阻,主要是表面处理和添加导电性物质两种方法。常使用的方法就是在内部或表面添加抗静电剂,降低塑料表面电阻,赋予其抗静电性能。

凡是能降低塑料表面电阻、防止发生静电堆积的材料都叫做抗静电剂。抗静电剂在塑料加工和使用过程中,会迁移到塑料制品的表面,形成一层抗静电剂层,加快静电荷的“泄漏”。

 

抗静电剂是一种表面活性剂,它由亲水基因和憎水基因两部分组成,其作用如下:

1) 在塑料表面形成平滑的抗静电剂分子层,可减少摩擦,从而减少静电的产生。

2) 塑料表面的抗静电剂分子层有一定的导电性,可以使静电迅速“泄漏”。

3) 抗静电剂分子本身带有电荷,可中和电荷,消除静电。

 

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